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首頁/ 產(chǎn)品中心 / 光電測(cè)量?jī)x器 / 干涉儀/標(biāo)準(zhǔn)具/ Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術(shù) 1nm重復(fù)精度 1秒測(cè)量0.6米工件觸摸屏操作)

EOT 太赫茲 VCSEL 光纖定制橫河光譜儀 TDLAS EDFA 觀察鏡干涉儀超快激光器中紅外相機(jī) 光束質(zhì)量分析儀光譜分析 TDLAS

Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術(shù) 1nm重復(fù)精度 1秒測(cè)量0.6米工件觸摸屏操作)

總覽
產(chǎn)品型號(hào)
產(chǎn)品特點(diǎn)
通用參數(shù)
相關(guān)產(chǎn)品

面型干涉是目前最主流的光學(xué)表面計(jì)量手段， Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路。VICT（Vibration Immunity at Crest and Trough 在波峰和波谷處的振動(dòng)免疫）打破了“干涉儀非常容易受到干擾、要在十分精密的環(huán)境下工作”的認(rèn)知。

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縱向橫向

產(chǎn)品型號(hào) ¹

貨號(hào)	操作	名稱	描述
	D80020082	Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術(shù) 1秒測(cè)量0.6米工件觸摸屏操作) [PDF]	測(cè)量尺寸(圓形-直徑)：102mm；可立式或臥式使用；測(cè)量精度：PV值31.64 nm或1/20λ RMS值 6.328 nm或1/100 λ；硬件可靠性：平均無故障工作時(shí)間>1000小時(shí) 及平均連續(xù)無故障工作時(shí)間>12小時(shí)/天；對(duì)準(zhǔn)角度允差：± 3°；光瞳調(diào)焦范圍：≥±1.5米	價(jià)格 : ￥0 庫存/貨期:請(qǐng)咨詢客服	請(qǐng)聯(lián)系客服 > 或提交詢價(jià)單

圖片	名稱	貨號(hào)貨期	描述	價(jià)格
	Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術(shù) 1秒測(cè)量0.6米工件觸摸屏操作) [PDF]	D80020082	測(cè)量尺寸(圓形-直徑)：102mm；可立式或臥式使用；測(cè)量精度：PV值31.64 nm或1/20λ RMS值 6.328 nm或1/100 λ；硬件可靠性：平均無故障工作時(shí)間>1000小時(shí) 及平均連續(xù)無故障工作時(shí)間>12小時(shí)/天；對(duì)準(zhǔn)角度允差：± 3°；光瞳調(diào)焦范圍：≥±1.5米	聯(lián)系客服或提交詢價(jià)單

總覽

面型干涉是目前最主流的光學(xué)表面計(jì)量手段， Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路。

VICT（Vibration Immunity at Crest and Trough 在波峰和波谷處的振動(dòng)免疫）打破了“干涉儀非常容易受到干擾、要在十分精密的環(huán)境下工作”的認(rèn)知。

產(chǎn)品特點(diǎn)

30 納米 jue對(duì)精度,1nm重復(fù)精度

0.6 米直徑工件, 僅需 1 秒測(cè)量

表面形貌 3D 成像

全新的觸摸屏操作模式,Victsin 測(cè)量軟件,現(xiàn)已支持Windows11

自動(dòng)調(diào)平選件,讓全自動(dòng)測(cè)量成為現(xiàn)實(shí)

成盤測(cè)量選件實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過程控制

一臺(tái)機(jī)器可測(cè)量多種工件通過更換不同的鏡頭平面、凹面、凸面…

通用參數(shù)

能夠測(cè)量的工件

直徑 < 600 mm

粗糙度 < Ra 0.1μm 平面或球面工件

超快速、超高精度的表面形貌三維成像

搜狗截圖20230531153614.png '

通過光路擴(kuò)展, 測(cè)量粗糙度> Ra 0.3 μm 的平面工件

搜狗截圖20230531153654.png

通過CGH補(bǔ)償器, 測(cè)量復(fù)雜曲面

搜狗截圖20230531153719.png

黑色或透明工件, 仍然能夠測(cè)量

搜狗截圖20230531153743.png

適合半導(dǎo)體應(yīng)用的MST(多表面測(cè)量) 一次采集, 同時(shí)完成上表面、下表面、厚度的計(jì)量。

搜狗截圖20230531153808.png

適合半導(dǎo)體應(yīng)用的jue對(duì)測(cè)距干涉，量程 > 100 μm 可進(jìn)行臺(tái)階、翹曲度、熱變形的測(cè)量。

搜狗截圖20230531153837.png

出色的動(dòng)態(tài)范圍，超過100條干涉條紋, 仍然可以分析。

搜狗截圖20230531155113.png

將 FEA（有限元分析）引入干涉儀結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

根據(jù)文獻(xiàn), 干涉計(jì)算對(duì) 0~120 Hz 的振動(dòng)敏感。因此, 我們將機(jī)械結(jié)構(gòu)的 7 階模態(tài)設(shè)計(jì)到 127 Hz，大大降低了機(jī)械結(jié)構(gòu)對(duì)振動(dòng)的敏感性

搜狗截圖20230531153947.png

超高重復(fù)精度

對(duì)一片 250mm 直徑的平晶進(jìn)行 1000 次連續(xù)測(cè)量。

PV 值的重復(fù)精度為 5.7 納米 (1/111 λ）

RMS 值的重復(fù)精度為 0.38 納米 (1/1666 λ）

VICT Dop模式,數(shù)據(jù)未經(jīng)人為修改

搜狗截圖20230531154054.png

三維成像原理

面型干涉是目前最主流的光學(xué)表面計(jì)量手段， Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路

搜狗截圖20230531154227.png

VICT 技術(shù)原理

搜狗截圖20230531154316.png

選件

VICT High 超高精度測(cè)量模式

支持到0.1納米 ( 1/6330 λ）RMS重復(fù)精度和1納米（1/633 λ）PV重復(fù)精度，對(duì)環(huán)境擾動(dòng)進(jìn)行建模分析, 包括振動(dòng)、氣流、光場(chǎng)在內(nèi)的負(fù)面影響排除。

沒有使用多次測(cè)量取平均的方法, 不會(huì)導(dǎo)致被測(cè)物面型被“美化” 。

搜狗截圖20230531154534.png

VICT Dop 多普勒抗振動(dòng)測(cè)量模式

非常惡劣的工業(yè)環(huán)境下仍正常工作，所有模式中zui高的測(cè)量效率，允許不使用隔振平臺(tái)。

搜狗截圖20230531154630.png

蒙版跟蹤

搜狗截圖20230531154811.png

超分辨三維圖

搜狗截圖20230531154914.png

清潔度分析

搜狗截圖20230531154949.png

基礎(chǔ)配置

主機(jī)	型號(hào)	測(cè)量尺寸(圓形-直徑)(注1)		立式使用	臥式使用
	Type100	102mm		OK	OK
	Type150	152.4 mm		OK	OK
	Type250	250mm		OK	OK
	Type340 (注2)	340mm		OK	OK
	Type450	457.2 mm		x	OK
	Type600	609.6 mm		x	OK
	注1:在80%直徑以內(nèi)使用時(shí),可以獲得更好的測(cè)量效果。注2:推薦臥式使用,立式使用時(shí)會(huì)降低精度。

激光測(cè)距點(diǎn)數(shù)	標(biāo)準(zhǔn)	692,224
	高清	2,663,424
	高速	186,623
	超高速	692,224

測(cè)量激光	激光器類型	波長(zhǎng)(nm)	8h波長(zhǎng)穩(wěn)定度(nm)(注1)		壽命(h)(注2)
	穩(wěn)定氦氖	632.8	0.0005		20,000
	穩(wěn)定半導(dǎo)體(注3)	633	0.02		50,000
	高效氦氖	632.8	0.1		20,000
	高效半導(dǎo)體(注4)	635	6		5,000
	注1:在恒溫,隔振的實(shí)驗(yàn)室測(cè)試。注2:由激光器廠家提供的參考?jí)勖?br/>注3:推薦用于Vctsin MST 注4:可用于Victsin MST

計(jì)算機(jī)	CPU		獨(dú)立顯卡		顯示屏		操作系統(tǒng)
	Intel 12代i712核心		NVIDIA Quadro		2k分辨率		Win10

測(cè)量軟件	Victsir軟件模塊	掃描方式		單平面干涉(注1)		雙平面干涉(注2)
	Victsin Static (注3)	無		OK		X
	Victsin PSI	壓電振鏡		OK		X
	Victsin MST	波長(zhǎng)調(diào)諧		OK		OK
	注1:適用于大部分工件。注2:通常適用于透明工件,同時(shí)對(duì)上表面,下表面,厚度,進(jìn)行測(cè)量。注3:基礎(chǔ)版本,不推薦用于高精度測(cè)量。

測(cè)量精度

jue對(duì)精度注1	Type 100~250	Type 340	Type 450~600
PV	31.64 nm或1/20λ	42.19 nm或1/15 λ	63.28 nm或1/10λ
RMS	6.328 nm或1/100 λ	8.437 nm或1/75λ	12.66 nm或1/50 λ
RMS	注1:jue對(duì)精度被定義為"參考鏡的jue對(duì)精度"實(shí)際測(cè)量的jue對(duì)精度=jue對(duì)精度＋重復(fù)精度。注2:波長(zhǎng)為測(cè)量激光的波長(zhǎng)，例如632.8 nm的測(cè)量激光,1/20約為31.64 nm,1/15約為42.19nm,1/12約為632.28 nm . 注3:該精度為我們提供的標(biāo)準(zhǔn)平面參考鏡的精度,更高精度需求請(qǐng)聯(lián)系銷售人員。注4:非平面參考鏡的精度通常低于平面參考鏡,具體數(shù)值請(qǐng)聯(lián)系銷售人員確認(rèn)。

重復(fù)精度	VICT-High	VICT-Low	VICT-Dop
PV	1 nm或1/633 λ	3 nm或1/211λ	10或1/63λ
RMS	0.1nm或1/6330 λ	0.3 nm或1/2110 λ	1 nm或1/633λ
RMS	注1:實(shí)際精度與測(cè)量環(huán)境有關(guān)，zui高精度與VICT-High相同,表格內(nèi)數(shù)值考慮了輕微的環(huán)境擾動(dòng)。

PV值是 Peak to Valley （峰值與谷值的差值）

RMS值是 Root Mean Square （均方根值），根據(jù)經(jīng)驗(yàn)RMS值是PV值的1/3左右。因?yàn)橄衿矫孢@類的簡(jiǎn)單形狀，大多使用PV值來表示。

例如：面型精度的PV值是1/4λ時(shí)，表示理想平面的Max. 偏差值是158.2nm

重復(fù)精度定義

連續(xù)100次測(cè)量的允差 (95%置信度)

測(cè)試環(huán)境

樣品放置于氣浮隔振桌.上,樣品距離參考鏡100mm,光路被遮光罩包裹,房間內(nèi)空調(diào)關(guān)閉，以避免氣流擾動(dòng)。

被測(cè)物

直徑小于參考鏡的80%,平面反射工件,反射率4%+1%,PV精度高于50 nm, RMS精度高于5 nm。

可靠性與環(huán)境要求

硬件可靠性	平均無故障工作時(shí)間>1000小時(shí) 平均連續(xù)無故障工作時(shí)間>12小時(shí)/天
軟件可靠性	平均連續(xù)無故障工作時(shí)間>12小時(shí)/天
對(duì)準(zhǔn)角度允差	± 3°
光瞳調(diào)焦范圍	≥±1.5米
運(yùn)輸和貯存	溫度	+10~+40 °c
運(yùn)輸和貯存	濕度	RH≤60%
工作條件	溫度	+20~+25℃
	溫度變化	≤±1℃ @24小時(shí)
	濕度	RH≤50%
	電壓	AC 220V,50 Hz,1.5kW